二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9269233 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 8光抗蚀剂设备是半导体行业光刻的高效通用工具。它是一个全自动系统，设计精确沉积光刻在晶片上，以及去除不需要的光刻。其紧凑的设计和方便用户的操作确保了最大的生产力和最小的浪费。TEL Clean Track Mark 8是一种溶剂基喷雾光刻装置。该设备最初专为200毫米晶片设计,可提供高达6英寸晶片的高吞吐量。它在晶片加载、应用参数、可编程功能设置等方面具有高度的灵活性。其先进的化学输送机提供均匀、大面积的覆盖，而自动清洗模块则提供卓越的残留物清除能力。该工具有一个内置的热喷雾模块，可在基板上提供稳定和均匀的光刻胶涂层。它还包含一个自动晶圆夹紧资产，便于晶圆在平版印刷过程中的转移。它的四个集成模块提供均匀分配光致抗蚀剂，以及高效清洗、冲洗和收集分配的光致抗蚀剂。为保证高品质性能，TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8光刻胶型号配备了先进的光学检测设备。该系统有助于在光致抗蚀剂施用前识别晶片上的缺陷或污染，以及在工艺后检测晶片上的非标准区域或缺陷。Clean Track Mark 8旨在为所有类型的光刻胶工艺提供经济高效的解决方桉。它也是高效的，减少浪费的时间和资源。TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8以其人性化的操作、全面的功能集、优越的清洁模组，是取得高品质成果的无价工具。