二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9269235 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8是一款用于半导体器件制造的最先进的光刻设备。它是一个高度通用和可靠的系统,旨在支持广泛的流程应用程序。该单元包括视觉机、全自动轨道、自旋漂洗烘干机和洁净室。视觉工具负责识别和识别晶圆和光掩模模式等特征,然后根据特定过程的要求将其用于匹配和对齐其他特征。视觉资产与数字成像模型集成，允许有效、精确的操作。TEL Clean Track Mark 8在清洁房间环境中自动处理晶圆、光掩模和其他材料。它配备了单一的厚膜轨道，允许统一和受控的开发过程。赛道还配备了高速自旋漂洗烘干机，使批量优化和预测成为可能。TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8的设计具有卓越的功能,例如快速的处理周期、元件的精确对齐以及100%的洁净空间能力。此外，该设备还提供了先进的自动化维护系统，可实现真正的单层操作和快速设备设置。Clean Track Mark 8利用模块化设计和现代自动化机器,将其集成到符合人体工程学的轨道中,从而以卓越的吞吐量实现最高的生产效率。TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 8是任何需要可靠、高性能和高效光敏（PR）工具的设施的理想解决方桉。其集成的视觉资产、高速轨道和高效的自旋冲洗烘干机提供了与最严格的要求和工艺序列相匹配的能力。此外，其优越的维护模式增加了设备的使用寿命，从而大大降低了总体拥有成本和对与维护相关的生产延误的敏感性。