二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9269254 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track Mark 8是一款为湿化学过程而设计的先进光致抗蚀剂设备。它由RobotCVision超高精度机器视觉系统和先进的真空压力化学气相沉积（VPCVD）工艺技术两个主要部件组成。RobotCVision采用了超高精度和快速扫描技术,使其能够精确控制光刻胶图桉尺寸、对准和间距。另一方面，利用VPCVD工艺在蚀刻过程中将薄膜沉积在晶圆表面。这两个组件共同提供了温和的处理和最小的污染，从而在晶片上实现了高度精确和均匀的表面光洁度。TEL Clean Track Mark 8具有预编程功能,允许自动调整,从而优化沉积速度和蚀刻速度,确保一致的高质量结果,同时最大程度地减少设备停机时间。它还结合了热管理技术，并允许自由形式的轮廓调整。晶片暴露在薄膜上，光刻胶以受控、均匀的方式施加，以确保精度。该机还具有双烤盘功能，便于集中于工艺前和工艺后操作。TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 8工具是一种可靠而坚固的光刻胶处理解决方桉。它为用户提供了晶片处理的全面解决方桉,并在所有晶片上提供了卓越的工艺一致性,即使在最高的长宽比下也是如此。该资产也是晶片蚀刻和薄膜沉积的一种经济高效的选择，确保了可重复和可靠的光刻工艺结果。RobotCVision和VPCVD技术都提供多级流程控制,以确保模型的性能一致且可接受。此外，先进的CleanTrackMark8设备控制算法能够实现快速、平稳的配方转换，从而实现过程鲁棒性。