二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9314271 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8
ID: 9314271
晶圆大小: 8"
优质的: 1996
(2) Coater / (1) Developer system, 8" Single block 1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 8是一款高度先进的光阻设备,旨在为用户提供高精度的沉积和升空技术。这个最先进的系统利用先进的化学和光刻工艺来确保一贯的高质量的结果。在其核心,TEL Clean Track Mark 8由一个工艺室和重量单元组成,用于在基板上分配化学溶液,俗称光致抗蚀剂。这种光致抗蚀剂被设计为对光敏感,并对某些波长产生反应,允许用户有选择地和精确地蚀刻图样到基板上。该工艺室包含多个可调组件,使用户能够选择所需的沉积和升降参数,如化学浓度、曝光时间、烘烤温度和升降时间。一旦化学沉积完成,光致抗蚀剂就暴露在指定波长的激光下,使其能够在基板上蚀刻图样。通过使用工艺室的可调参数,用户可以控制蚀刻深度和图样覆盖区域。蚀刻过程完成后,光致抗蚀剂将通过提升过程除去,以显示所需的图样。这一过程需要使用一个移动平台,该平台设计为包含两个车厢-一个位于基板上方,另一个位于加工室上方。在升空过程中,第二个车厢与光刻胶接合并从基板上升起,露出下面所需的图桉。TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 8凭借其可调参数提供了高度的精确度和灵活性。这台先进的光刻机使用户能够轻松创建详细的图样,为他们提供了创建精确结构的高效手段。
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