二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9372744 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track Mark 8（CTM-8）是为生产半导体器件而设计的先进光刻设备。光致抗蚀剂是一种光敏材料，用于光刻工艺中的图样，有助于创建构成许多电子产品基础的错综复杂的设计。CTM-8系统可以快速、精确地开发半导体芯片的批量生产和原型制造模式。CTM-8单元的工作原理是使用一种叫做Positive Resist SE 1455的光阻材料在基板上产生负浮雕。首先，基板涂上一层薄薄的抗蚀剂，然后通过遮罩暴露在紫外线下，在基板上形成图样化的图像。CTM-8机器允许基板精确且可重复地暴露于紫外线，以确保精确的图样传递。该工具配备了自动处理和数据监控（APDM）软件，可以改进对打印过程和模式可重复性的控制。光刻胶本身对线宽和边缘放置精度都敏感，在开发过程中需要加热，以确保适当的图样传递。CTM-8资产具有内置的耐热加热器和快门模型,可自动加热抗热剂以实现一致的蚀刻,并优化层的光学透明度。CTM-8设备还具有先进的真空系统和多级防腐蚀装置，可提高图样传递精度，防止粉尘颗粒沉降在基板上，提高工艺重复性。最后,可以通过全面的用户界面轻松校准和监控CTM-8机器。这使经验丰富和经验不足的用户能够快速控制工具的参数并确保所有拟议项目的准确结果。CTM-8具有先进的软件和硬件功能，是快速高效生产高质量半导体器件的理想光刻资产。