二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9395945 待售
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ID: 9395945
优质的: 1995
Coater / Developer system
COT
ARCCOT
(2) DEV
WEE
Missing parts:
AD ASSY Unit
UL200T-L1
Circulator
Main arm
C/S Unit bottom fan
(6) Fuses, 2 A
T&H CPB-2-M2, Cup temperature cooker body
WEE Driver ASSY
Surge Tank Controller
Inheritor PC
Spin motors
Spin drivers
I/D X-axis driver
I/D Y-axis driver
I/D Z-axis driver
1995 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8是一款高度精确、自动化的光致抗蚀剂设备，设计用于在半导体和FPD生产过程中创建高质量的图样。光致抗蚀剂是一种光敏聚合物材料，用于在基板上形成图样。TEL Clean Track Mark 8专注于实现光刻胶极精确且可重复的图桉。它提供快速、可靠的曝光功能,以确保一致的准确性和高质量的模式。该系统具有坚固的控制单元，具有强大的信号处理和控制，以保证精确定位。它还配备了高度精确的光束扫描，使其能够创造出重复性小于一纳米的纳米级图桉。TOKYO ELECTRON CLEan Track Mark 8的综合运动控制机包括高分辨率线性编码器、步进电机控制器、语音线圈电机控制器。这为各种应用程序提供了精确的运动控制。图像分辨率高达13um （0.0005英寸）以满足各种应用程序的要求。Clean Track Mark 8还结合了先进的场发射电子束，使透镜像差最小化，并提供高度相干、均匀的电子束。这种高分辨率电子束允许低能电子暴露和短写时间。该工具还改进了污染控制，最大限度地减少了环境变化对设备性能的影响。该资产旨在方便地集成到生产线中。用户友好的Touch Panel LCD可以使用无线遥控器和基于手势的命令操作。该模型还包括内置的生产率监控软件，因此制造商可以轻松跟踪过程进度，并对过程中的条件进行全面控制。TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8提供更高的精度、更高的效率和更高的生产力。这种光敏设备的设计满足了半导体和FPD生产线的需求，保证了高质量、高性能的效果。
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