二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark Vz #142532 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark Vz
ID: 142532
晶圆大小: 6"
优质的: 1994
(1) coater / (2) developer system, 6", 1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark Vz是一款高性能的光刻胶设备,旨在最大限度地减少污染,同时提供可靠快速的光刻胶制备。该系统采用基于轨道的清洁工艺,采用闭环方式装卸样品,并设有一个有助于保持环境清洁和不受污染的高性能处理室。该装置采用独特的基于轨道的清洁结构,可提供无与伦比的防污保护。这包括一个封闭的运输轨道,防止颗粒释放到机器的环境中,清洁房间地板和一个专门设计的过滤工具,以确保从轨道的入口到出口一侧的空气流动和清洁。室内采用不锈钢镀层和阴极电解涂层,为室内环境提供最佳清洁。腔壁涂有特殊的介电镜涂层,以反射红外辐射,确保光线的精确聚焦。该室还设有一套百叶窗和一个气流撞击装置,以协助当地的清洁和污染控制,以及多种安全功能,以防止事故或处理不当。该型号还拥有不同速度的高速轨道清洁工艺,可根据用户的特定要求进行调整。这样可以精确地控制各种样品的清洗,无论大小.通过使用可调节的速度洗涤滚筒和气流以确保无污染的结果,进一步加强了轨道清洁过程。该设备的用户友好软件进一步得到加强,该软件提供了对光刻胶沉积的实时监测、数据记录和分析、自动配方生成、散焦和重复配方执行、样品处理以及最终报告管理等功能。用户界面直观、易于使用,不需要进行广泛的培训以实现最佳使用。总体而言,TEL Clean Track Mark Vz提供了可靠、无污染、高性能的光刻胶系统,非常适合各种应用。它基于轨道的清洁过程允许精确控制任何大小样品的制备,其用户友好的界面使得它即使对于新手用户也很容易使用。
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