二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark Vz #9185659 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark Vz是一种光刻设备，为半导体光刻的发展过程储存和分配化学物质。它旨在在开发过程中保护敏感部件并减少污染。TEL Clean Track Mark Vz结合了几个复杂的功能，如化学品输送系统、化学品跟踪、溷合和配对一系列化学品。该装置利用带有喷嘴的流体输送臂进行精确、高速的化学输送。手臂连接到中央储罐，用于储存各种化学品。该机器能够通过一系列传感器对稀释和原始化学浓度进行精确、准确的跟踪。这使得工具可以调整化学品的稀释比，以达到所需的溶液强度。清洁罐设计为在保持高纯度水平方面高效。整个清洗过程不到一秒钟。资产还具有先进的化学品维护模式，以确保妥善处理和跟踪在开发过程中使用的化学品。模块化设计使操作和维护更加方便。焊接不锈钢溷合室的设计是为了提供一个坚固的设备没有泄漏或系统故障的风险。TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark Vz还包括高精度的精确控制工具，以确保整个光刻开发过程中的最佳工艺条件。这包括化学水平、温度和纯度的监测单位。该机器提供各种清洗、溷合和控制化学平衡的选项。Clean Track Mark Vz中的所有功能都旨在最大限度地缩短工艺时间,提高吞吐量,并确保最终的半导体光刻开发过程中的最高质量水平。