二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track #293587658 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track是用于光刻工艺生产半导体器件的专用光刻设备。该系统利用光刻和湿法化学工艺的组合，可靠地对半导体晶片、平板显示器和液晶屏等物品基板进行图样设计。单位基本由三大组成。这些是曝光模块、清洗模块和干燥模块。曝光模块设计为使用光源和遮罩板执行平版印刷图桉。使用的光源可以是激光光源，也可以是紫外线光源，这取决于晶圆的类型。屏蔽板包含要转移到晶圆上的平版印刷图桉。然后使用洗涤模块在晶片暴露后从晶片中除去剩余的光刻胶残留物。在这一步骤中，对一种抗蚀剂去除/蚀刻化学品以及一种溶剂（通常是水）进行调节和应用，以去除任何残留的光致抗蚀剂残留物。关键是要准确地完成这一步骤，以确保工序的清洁度和准确性。最后一步是干燥模块。此步骤用于去除暴露晶片表面的任何水分。同样，重要的是要有非常低的水分水平，以确保光刻图桉的准确性。在此步骤中，使用酒精或异丙醇等干燥剂来加快干燥过程。TEL Clean Track的光刻机快速准确地制图晶片,结果可靠.该工具结合了最先进的光刻和湿法化学工艺，确保在目标基板上形成精确的图桉和清洁表面。此外，它的模块化设计可以方便地进行定制和改进，以满足用户的具体需求。