二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track #293751150 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track是一种在半导体製造过程中处理晶片的光刻设备。该系统旨在提供稳定、均匀的抗性涂层环境，有助于减少环境源引起的抗性缺陷数量。该单元由三个核心组件组成：运输排气机（TES）、均匀区域控制工具（UACS）和干燥区域互锁资产（DAIS）。运输排气模型（TES）通过控制整个加工区的进出口加压，为光刻涂层工艺维持稳定的环境。TES测量压力，控制进/出气流，提供低湍流和最小污染的高效气流。TES有助于确保改善颗粒分布,从而减少抗性缺陷。均匀性区域控制设备（UACS）的设计是为了提供晶片上抗蚀性涂层的均匀性。它利用均匀的气流来维持光刻胶在晶圆表面积上的均匀分布。这有助于在晶片上产生一致、高质量的光敏涂层，提高产量并减少缺陷。烘干机区域联锁系统（DAIS）旨在为干燥过程提供安全可靠的环境。DAIS控制干燥室内的入口和出口气流，确保整个晶片上的耐蚀涂层均匀性。DAIS还通过监测干燥室环境中的任何潜在危险来帮助提高安全性，并在必要时采取适当行动保护晶片。TEL Clean Track是一种先进的光刻装置,可提供可靠、一致的半导体晶片处理.该机由三个主要部件组成，它们共同提供均匀的抗性涂层，提高了产量，减少了缺陷。通过控制进气/出口的加压、均匀的气流和加工区内的湿度，该工具允许改进具有最小污染物的抗蚀性涂层。资产有助于降低抗缺陷风险，确保更高质量的产品和提高收益率。
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