二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track #293804761 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track是一种用于先进光刻的光刻设备。该系统使用了许多先进技术，以确保在生产微型化设备时的精确对准和分辨率。TEL Clean Track单元通过专注于减少光刻过程中的颗粒污染来实现精确的光刻。这是通过整合若干技术来实现的，例如有效的空气过滤、除尘以及收集和清除碎片的工艺。具体工艺因使用的光刻设备类型而异，但通常包括以下步骤。首先，机器回收光刻室内的空气，清除产生静电的颗粒。这也有助于保持房间无灰尘。其次，有一个除尘工具可以过滤空气中的灰尘颗粒。这是通过高效过滤、旋风除尘器和主动木炭空气清洗技术相结合完成的。第三，资产阻止区域内的颗粒进入光刻室。该模型部署了一个喷嘴，轻轻地从腔室中除去悬浮颗粒，这对防止颗粒进入光刻机的高分辨率场非常有效。第四，设备采用了几种技术来确保正在制造的设备的接触面罩精确对准。这包括使用多种类型的光源、光学套圈对准和高精度激光对准参考点。所有这些功能确保正在制造的设备精确对齐。最后，系统既能保证精确对准，又能降低污染物进入光刻室的可能性。这是通过位于光刻室外的二次清洁站完成的。本站设有高效率滤波器，以捕捉任何可能被带入腔室的碎片或粒子。总体而言，TOKYO ELECTRON CLEAN Track单元是一台先进的光刻机，利用多种技术来确保所制造设备的精确对准和准确性。该工具还有助于减少光刻过程中的污染，创造一个没有污染物的环境。
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