二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track #9281924 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track是一款光刻设备，能够在半导体制造中实现精确的阵列和高通量。该系统由一系列组件组成,旨在确保精确的功能,同时优化处理时间。该设备的核心技术是一种先进的光刻胶成分，比传统工艺需要更少的曝光时间，允许更多的特征被蚀刻到单个晶片上。为了确保最大限度地控制光刻胶，机器包括一个先进的成像模块，它允许更高的精度和分辨率图样。此外，该工具利用激光器，以确保精确蚀刻以及精确对准光刻在晶片上。对于沉积，资产采用先进的沉积策略，有助于在晶片上创建一致的特征和统一的沉积。这样可以提高成品的可制造性和更高的产量。为了提供进一步的控制，模型包括加热元件，将晶片加热到特定温度，以便精确处理材料。热也用于快速热循环连接,有助于提高工艺时间和产量。为了保护工具随时间的磨损，设备还包括光刻胶系统的自动清洗。这是通过其集成的清洁循环来实现的，该循环从晶圆中清除任何污染物或残留物。此外，它还利用特殊的超音速清洗工艺，以尽量减少粘连和污染，改善表面均匀性，并允许更精确的工艺。最后,该单元还配备了高级材料控制机,它使用高级算法对特征的最佳放置进行建模,以优化过程时间,同时仍保持特征的完整性。该工具还提供了可追踪性,通过分析来自多个生产运行的数据,可以进一步改进流程。综上所述，TEL Clean Track是一种综合性的光阻资产，旨在提高加工时间和收益率。通过先进的成像、沉积和清洁策略以及材料控制,该模型有助于确保精确的功能,同时保持最终产品的质量。通过使用激光、自动清洗和精密算法，该设备为生产高质量半导体器件提供了可靠高效的方法。