二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track #9360709 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track是一种精密的光阻设备，设计用于精确、一致地将抗蚀剂薄膜沉积到晶片上。TEL Clean Track是为生产各种微电子器件中的高分辨率电路而开发的，已投入商业使用近二十年。TOKYO ELECTRON Clean Track设计的核心是一个专门的真空堆栈沉积室，设计用于对基板精确地施加抗蚀剂。腔室分两个阶段工作：第一，在腔室的范围内形成一个特定的抗蚀剂流动，并定向到基板上。一旦施用了正确的抗蚀剂量，就用扩张器统一涂覆基材。传送器利用超声频率波工作，引起抗振剂振动和均匀沉积。与其他系统相比,Clean Track的设计提供了几个关键优势。首先，由于抗蚀剂被应用在均匀的层中，它产生了精确到15纳米的尖锐而精确的电路线路。这使得能够生产高密度电子元件，而电流生成的TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track系统能够产生小至8纳米的特性尺寸。此外,由于其抗蚀剂的精确应用,系统可以提供数百万台设备的可靠性一致性。为确保最佳性能和减少停机时间,TEL已将多项功能纳入TEL Clean Track单元。其中最显着的特点是先进的过程监测和控制系统，可以实时监测和调整处理参数。这样可以更好地控制晶片质量并增加正常运行时间。此外，还加入了一些安全系统，例如改进的空气喷射器，以防止危险颗粒进入腔室。总之，TOKYO ELECTRON Clean Track为微电子行业提供了可靠、精确的光刻机。Clean Track的线宽精确到8纳米,是最先进的工艺监控和安全系统,可提供无与伦比的精度和可靠性。