二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track #9374899 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track是一种在半导体器件製造过程中使用的光刻胶设备。它设计用于在器件制造过程中从光致抗蚀剂层中去除颗粒、有机和无机膜以及其他污染物。TEL Clean Track利用高强度电离气体将污染物从光致抗蚀剂表面扫走。这种气体使用淋浴总成输送到光致抗蚀剂表面，淋浴总成包括一个气体输送喷嘴和一个可调气体压力调节器。压力调节器是可调的，以提供一系列气体输送压力，可以容纳多种光刻胶层、表面化学和粒度。TOKYO ELECTRON Clean Track还包含高性能的泵以10至20 torr的最佳清洁压力连续循环电离气体。系统使用静态滤波器帮助清除气流中的悬浮粒子，以及可调气压计和调节器，为洁净室应用提供一致的电离气流。Clean Track单元包括一个独特的成像机,它采用先进的光学技术,如激光照明和电荷耦合器件（CCD）成像来监测污染物的光敏层。它还包括用于观察微粒的双视频记录功能以及肉眼看不到的污染。此外，TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track提供了一个覆盖成像设施，用于比较光刻胶应用前后拍摄的图像，以改进工艺监测。总体而言,TEL Clean Track是一款坚固可靠的光阻工具,具有高效的颗粒去除、自动化过程和降低的制造成本。它被用于半导体器件的制造，对于去除光敏表面的小颗粒和有机污染物特别有效。TOKYO ELECTRON CLEAN Track的设计旨在保持光刻胶层的完整性，并确保过程的重复性和高产率。