二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380658 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600是一种半自动光刻设备，设计用于处理薄膜沉积应用。它是由机器人晶圆加工单元、可编程空气/真空储罐和加工室组成的涂层/冲孔系统。由于其精确度和精确度，该单元非常适合精密螺距平版印刷应用。TEL CS-600允许像光致抗蚀剂、二氧化硅、铝和钛等两种薄膜层的沉积，全部采用单一工艺。该机具有高速制图能力，可以方便地容纳接触光刻和近距离光刻。它还能够形成层线间隔器，这增加了刀具容纳各种图桉几何形状的能力。TOKYO ELECTRON CS-600适用于半导体和光槽过程，如光刻、接触光刻和接近光刻。晶片表面暴露于光敏材料的精确均匀涂层中，然后用闪光曝光进行图样化。CS-600可以容纳需要从10微米到24微米的像素大小的各种进程。TEL/TOKYO ELECTRON CS-600配备了一个四轴机械臂，可以编程快速精确地操纵晶片。由于其高效的扫描精度,它以较低的成本实现了快速的模式传输和层增长。这一资产有一个内置的可调真空室，它控制着感光层的水平，以确保连续层的完美结合。TEL CS-600配备了可编程的空气/真空储罐，有助于最大限度地提高模型在任何时候的真空水平。空气/真空储层是可调的，以便容纳任何厚度的晶片。另外，TOKYO ELECTRON CS-600还配备了闸阀，以帮助保持储层内部的光致抗蚀剂，防止其氧化。CS-600是一种高效可靠的光敏设备，设计用于处理大批量生产薄膜层。其精确、精确的性能使其成为解决细间距光刻应用的理想选择。该系统的自动化机器人技术和可编程空气/真空储存器使其极其方便用户，并提供了出色的效果。