二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380669 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600是为电子工业制造超细元件而设计的光刻设备。其高度自动化的功能使其易于设置和使用,而其专门的设计确保了所有组件都表现出高性能。TEL CS-600由几个集成组件组成，这些组件对于确保敏感组件的精确微加工都是必不可少的。由内置扫描仪的预曝光单元、清洁站、曝光单元、开发/湿蚀刻单元组成。预曝光单元利用电动机械级对光刻胶层进行精确扫描，以确保光刻胶层在基板上的最佳曝光。这种自动扫描过程使系统的设置变得容易,并始终产生可靠的结果。还包括一个内置的清洁站，协助现场清洁设备的机械部件，以提高性能。曝光单元负责产生强大的辐射束，用于激活光刻胶层。为了保证部件的高分辨率,使用了核轨迹抗蚀剂.还采用了可调快门来控制辐射强度。开发和湿蚀刻过程涉及使用PD-PHOTO蚀刻机，同时开发和蚀刻光刻层。这一过程是精确隔离元件和准确控制元件的形状和尺寸所必需的。总之，TOKYO ELECTRON CS-600是一种高度精密和自动化的光刻工具。它的多种组件能够为广泛的电子应用精确控制和定制组件。它易于设置,性能可靠,是大多数制造相关任务的理想选择。