二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380670 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 Photoresist Equipment是一个完整的光刻套件,它基于高度精确和高效的CS300系统。该单元使用最先进的准分子激光源进行光刻，并使用四区烘烤模块进行抗蚀剂均匀性和曝光后烘烤。专门为内存、逻辑、CMOS设备等集成电路的大批量生产而设计。TEL CS-600利用先进的激光投影对准检测器实现掩模与基板的精确对准。这种先进的激光对准技术可以进行精确的光刻加工和高工艺产量。利用自动对焦检测器控制激光对焦位置，并利用减焦镜头最大限度地提高机器的工作效率。利用激光的多级发射结构和不同的散焦设置，对激光曝光参数进行了精确优化。通过优化激光光束光斑尺寸和采用双方向标记，提高了TOKYO ELECTRON CS-600的覆盖精度。此外，激光光源可以根据特定的光刻应用进行量身定制。该激光器还配备了高功率预激射和洪水闪光功能，以确保景深覆盖。通过单独控制的温度区和均匀的烘烤过程,可以在CS-600上进行防腐处理。使用高分辨率多区域烘烤模块可提高平版印刷性能并增加加工窗口。TEL/TOKYO ELECTRON CS-600结合了激光投影对准和四区烘烤模块的功能，为大容量集成电路制造提供了一种鲁棒性的抵抗工艺。内置的高级曝光控制方法使TEL CS-600能够轻松适应各种集成电路设计和制造过程的要求。晶片到晶片的边缘对准由刀具全面的晶片对准设计控制。辅助传感资产提高了模模对准精度。TOKYO ELECTRON CS-600还集成了完整的过程控制环境,使质量控制和过程优化成为可能。它配备了综合质量分析模型，用于监测各种光刻参数和工艺条件。这些数据随后被用于开发统计过程模型，可用于进一步优化平版印刷过程。CS-600是用于大容量集成电路制造应用的高度集成和优化的光阻设备。它配备了现代光刻技术和抗加工技术，并提供卓越的光刻性能。先进的控制系统确保光刻工艺得到优化，质量可以同时保持。