二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380673 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600是为半导体工业中的器件制造而设计的光阻处理设备。该系统利用专有的蒸气相工艺最大限度地提高光刻胶应用的暴露均匀性、吞吐量和产率。TEL CS-600是一个完全集成的单元,它为复杂的设备制造提供了一个完全受控的过程环境。该机器配有顶端装载机和真空臂，设计用于从其载波中挑选零件，然后按照集成CD/DVD刻录机的程序进行处理。此CD/DVD刻录机提供在对原始数据进行光掩码之前读取和存储原始数据的功能,然后将这些数据暴露在抗蚀剂中。CD/DVD刻录机还包含增强的数据传输均值,允许进行详细的过程控制。光掩码是该过程的关键部分。光掩模用于限制和聚焦光敏材料的曝光。TOKYO ELECTRON CS-600中使用的光掩模具有各种尺寸和形状的功能,所有这些功能都是为满足客户的要求而设计的。作为此过程的一部分,CS-600利用了一系列额外的精密光学元件,如光刻透镜、玻璃顶部、蒙版曝光窗口和集成的蒙版对准器。对于微光刻，TEL/TOKYO ELECTRON CS-600包含了图像处理的AW-N120软件。该软件旨在通过设置激光曝光参数来微调图像，确保最高精度。经过成像过程后，TEL CS-600配备了激光扫描自动校准工具，以保证曝光均匀性。TOKYO ELECTRON CS-600配备了三种烘烤工艺，旨在保护光刻胶免受损坏。通过在旋转涂层过程中在高温下烘烤光致抗蚀剂表面,CS-600可确保最高的质量均匀性和最大的粘合特性,从而实现可靠的表面粘合。此外，该资产的设计还包括一个回流光刻胶的烘烤后工艺，从而进一步保护光刻胶材料在随后的加工过程中免受损坏。最后,TEL/TOKYO ELECTRON CS-600采用了一种专有的调平工艺,该工艺采用了先进的专有算法,并利用多个传感器以受控的均匀厚度对整个基板精确施加抗蚀剂。这是设备制造的一项关键功能,因为它确保设备具有可靠的均匀性和产量。TEL CS-600是设备制造商的首选,他们需要一个完全受控的工艺环境和更高分辨率的成像技术来制造复杂的设备。TOKYO ELECTRON CS-600具有精确的性能、受控的环境和自动化的过程,是为使用高分辨率光掩码进行设备生产的半导体专业人员而设计的。