二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380675 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600光刻设备是一种单片光刻系统，设计用于以最小的模式变形曝光光刻材料。与传统的光刻曝光系统相比,它提供了卓越的介电均匀性,能够以极高的精确度和优越的产量打印精细的特征。该单元集成了多种功能，包括先进的高频蒙版保持机、自动对焦和激光对准。TEL CS-600提供10nm的舞台精度,允许按关键特征顺序对抗蚀剂进行高精度阵列化。为了保持这种精度，TOKYO ELECTRON CS-600采用了一种高精度的直线电动机级驱动工具，以补偿热机械变化，以确保可重复的高精度曝光。资产的高频蒙版持有模式支持介电5-500nm厚的蒙版套件，使光刻胶材料的错综复杂、精细的特征得以精确曝光。CS-600的激光对准设备确保光掩模相对于基板的对准，为高分辨率的结果提供稳定的阵列处理。系统的自动聚焦功能可确保整个曝光过程中的纳米级精度。利用获得专利的高分辨率激光二极管，TEL/TOKYO ELECTRON CS-600可以测量光刻胶图样的临界边缘并自动调整其焦点。即使基板的地形或粗糙度发生变化,这也会产生一致的精确模式。TEL CS-600还提供多种高端功能,例如波长和数值孔径5nm的超高分辨率成像。这会导致高吞吐量性能和极低的缺陷率。TOKYO ELECTRON CS-600是一种精确、易于使用、可靠的光刻装置，旨在应对不断发展的微电子产业的挑战。它具有将边缘分辨率降低到5nm的能力,并具有高精度的重复曝光,从而使高分辨率图样能够以优异的产量进行打印。因此，它是先进和高容量微电子应用的理想解决方桉。