二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380677 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600是一种用于光刻工艺的综合性光刻设备。该系统结合了先进的抵抗技术和全自动的基板处理单元，提供了一个完整的抵抗解决方桉。TEL CS-600包括一个抵抗模块、一个视觉模块和一个底物对齐模块，使其成为广泛应用的理想解决方桉。抗蚀剂模块设计用于各种类型的抗蚀剂材料。它配备了一个抵抗喷嘴、一个抗反射涂层（ARC）喷嘴和一个喷雾干燥机。喷嘴能准确控制抗蚀剂的应用，保证均匀沉积，精度高。此外，喷嘴还配备了泄漏探测器，防止泄漏和关键基板表面的污染。抗蚀剂喷嘴的可调性允许在各种基材上同时沉积正负抗蚀剂配方。视觉模块的设计是为了准确识别基底坐标，并跟踪它们在基底级的运动。视觉模块具有高分辨率的摄像头，允许精确识别基板特征。这样可以在应用过程中准确定位基板相对于抗蚀剂喷嘴和ARC喷嘴的方向。此外,视觉模块能够自动检测基板缺陷并向抗蚀剂模块提供反馈,以确保仅使用具有可接受完整性的基板。基板对准模块有助于确保每次基板放置在基板台上时基板的位置一致。它使用传感器和软件的组合来精确定位± 0.1mm范围内的任何基板。这确保了抗蚀剂材料的应用是准确的。此外,由于此模块具有自动化特性,因此可以在单个批中方便地设置大量基板。总体而言，TOKYO ELECTRON CS-600是一款卓越的光刻机，提供卓越的均匀性和生产率。其通用的抗蚀剂应用选项允许灵活生产各种基板，使其成为光刻工艺的理想解决方桉。此外,先进的成像和对准功能可确保基板能够准确定位用于抗性应用过程,从而实现卓越的可重复性。