二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380678 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600光刻设备是光刻的工具；半导体制造中常用的工艺。该系统具有用于精确对准曝光晶片位置的晶片对准级、高功率紫外线或激光光源、用于放大或缩小图像的电动变焦镜头以及高度先进的控制单元。晶圆对准级由真空卡盘和三个可调运动轴组成，为操作员提供晶圆位置和方向的精确控制。内部照相机可用于验证晶圆在曝光前的位置和对准。此功能可确保每个晶片都能准确定位和曝光,而无需手动干预。机器配备了利用短弧光灯产生紫外线或激光的光源，视应用情况而定。灯具和电气控制工具的设计最大限度地提高电弧寿命和最低维护要求。资产可以使用广泛的滤波器模式来优化各种应用的曝光参数。电动变焦镜头旨在为操作员提供最大程度的灵活性和曝光控制。它具有远心设计，具有可调虹膜，以精确控制光线强度。它还提供了可调焦点和缩放,允许用户选择理想的图像大小。控制模型非常先进,具有触摸屏用户界面和高级诊断功能。它允许操作员预编程曝光参数，并为不同的应用程序存储各种不同的设置。设备还可以与其他生产设备集成，以加强过程控制。TEL CS-600光刻系统是半导体制造的强大工具，提供精确的晶片对准、高功率的紫外线或激光光源、可调聚焦和变焦，以及先进的控制单元。凭借其自动化某些过程的能力，它为用户提供了高效可靠的光刻体验。