二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380679 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600是一种光致抗蚀剂设备，用于将光致抗蚀剂材料精确应用到晶圆或基板上。光致抗蚀剂材料对光敏感，可用于在基板上为各种应用创建图样。光刻胶系统由喷嘴单元和扫描仪头组成。喷嘴机又称自旋涂层单元，包含一个可编程电动机，用于控制旋转速率、喷嘴温度和电阻率，用于在基板上精确应用光敏材料。扫描仪头是一种光学传感器，用于将晶片精确定位在涂层装置中。它使用远心透镜，减少成像相关的失真，提供完美无瑕的成像。此外，TEL CS-600光刻工具还配备了先进的控制单元，用于资产控制和处理。它使用户能够根据流程的需要设置所需的速度、温度、电阻率和压力。该单元还提供了一个光谱分析函数，用于分析光敏材料以进行适当的材料沉积。TOKYO ELECTRON CS-600还配备了高级可编程逻辑控制器（APLC），用于执行任务。这种精密的设备可以针对多个流程步骤执行各种复杂的任务，同时仍保持高精度。综上所述，CS-600光刻模型是光刻的一种高效可靠的解决方桉。它配备了最新的技术进步，在基板上进行精确、可重复和可靠的光敏沉积。它对自旋速率、温度和电阻率等参数的严格控制，确保基板涂覆有精确的光敏材料量和均匀性。