二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380680 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600（'TEL CS-600'）是一种自动化光刻设备，用于制造半导体器件。该系统可以配置一个晶片卡带或双晶片卡带装载机，并且能够处理多达200毫米的晶片。该单元具有优化的卡带到卡带晶片处理功能,无需手动卸载晶片。TOKYO ELECTRON CS-600使用先进的计算机来控制操作，并使用直观的用户界面来简化操作。该工具允许两种操作模式-本地模式和远程模式。在局部模式下，资产可以从外部操作员控制面板操作。在远程模式下,模型可以从局域网上的计算机操作。CS-600有一整套用于烘烤前和烘烤后序列的清洁工艺。其清洗过程包括冲洗和自旋干燥、喷雾和自旋干燥、喷射和自旋干燥、吹风和自旋干燥。除此以外，还有针对特殊清洁需求的手动和自动颗粒清洗工艺。TEL/TOKYO ELECTRON CS-600利用先进的扫描仪和运动控制设备来检查和优化晶片上光敏特性的图样位置和迭加。它采用全自动软件驱动的光学对准器,具有可调的光斑大小和聚焦深度范围。TEL CS-600还具有先进的装载机/卸载机系统,可缩短吞吐量时间,从而加快光刻材料的处理速度。集成工作台可减少装卸时间,而全自动清洁装置可改善光刻材料的传输。TOKYO ELECTRON CS-600还具有可编程格式设置,在处理不同类型的晶圆时可以灵活使用。该机配备了先进的安全功能，以确保安全运行。安全功能包括操作员离开工具时自动停止,以及机器闲置超过一定时间时自动解锁。CS-600还包括操作人员可随时访问的紧急停止按钮。总之，TEL/TOKYO ELECTRON CS-600是一种先进的自动化光刻胶资产，为制造过程提供更高的吞吐量和更高的精度。其先进的光学对齐器和装载器/卸载器系统提供高效、高质量的性能，而其直观的用户界面和安全特性简化操作，确保操作安全。