二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380681 待售

ID: 9380681
优质的: 1999
Plasma cleaner 1999 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON CS-600是一种设计用于半导体制造行业的光阻设备。它利用最先进的光学、精密操纵器、先进的光刻技术和过程控制软件,以高精度和一致性的方式制作光刻胶图桉。TEL CS-600的紧凑设计让它在占用较少空间的同时,为性能提供了最佳参数。它能够与多种光致抗蚀剂材料一起工作,包括硅酸盐、聚硅烷、硫氟化物和聚酰亚胺,使其成为半导体IC(集成电路)制造的理想之选。该系统的生产速度与高端光刻系统相媲美,减少了周期时间,促进了连续生产。TOKYO ELECTRON CS-600利用两个先进的光学透镜进行成像。其高分辨率的1.4倍成像透镜确保了光刻胶上图桉的精确对准,并消除了任何光学失真。另一种镜头具有变焦能力,可进行精细成像控制.该装置的两个精密机械手能够快速对准成像镜头,而其自动控制机器则保持模式精度和过程一致性。除了令人印象深刻的性能外,CS-600还拥有易于操作和维护的功能。其用户友好的软件允许对光刻过程进行快速、高效的编程。其标准化的硬件接口可方便维护和更换部件。而其广泛的专用配件可用于光刻应用自动化和优化生产工艺。TEL/TOKYO ELECTRON CS-600是一种先进的光刻工具,非常适合半导体制造实验室使用。其先进的光学设备、精密操纵器、自动化控制和用户友好型软件使资产具有很高的可靠性、准确性和经济效益。它能够快速、精确地产生高质量的光刻胶图样,是优化IC制造工艺的理想选择。
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