二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380682 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 Photoresist Equipment是一种多用途、可靠的半导体制造图样和蚀刻基板的工具。该系统利用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）技术在基板上沉积一层光致抗蚀剂。TEL CS-600由加工室和源室两个主要部分组成。该工艺室是一个密封的密室，里面装有真空泵。源室包含该过程所需的组件。基板可以装载到加工室，一旦密封，泵便开始排空该室。而在真空下，源腔中的组件被加热到所需温度。然后，可以将不同类型的气体引入腔室，开始沉积和蚀刻过程。TOKYO ELECTRON CS-600可用于图样和蚀刻多种底物，包括由多晶硅、掺杂氧化物、氮化物、SiGe/SiGe等制成的底物。对于蚀刻，使用氯和氟基气体。至于光致抗蚀剂层，CS-600利用一个涉及单体和引发气体的聚合过程来产生光致抗蚀剂。聚合过程允许工具为光刻胶处理应用提供无与伦比的性能。此外，TEL/TOKYO ELECTRON CS-600内置了几个安全特性。该机组配有内部安全阀、吹扫机和排气工具。这些安全特性有助于确保在处理过程中不会将有害物质释放到环境中。TEL CS-600是光阻处理应用的高效可靠工具，旨在提供半导体行业的卓越性能和可用性。TOKYO ELECTRON CS-600 Photoresist Asset凭借其多才多艺的功能，是半导体制造商青睐的选择。