二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380683 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 Photoresist Equipment是半导体工业中光刻工艺的强大可靠工具。TEL CS-600具有可靠的集成系统,可增强对光刻工艺的控制,具有最先进的光学性能和先进的晶圆处理功能。该单元提供卓越的光学性能,包括用于精确成像的高数值孔径（NA）和用于动态功率调节的卓越激光照射功率控制。该机还配备了先进的晶圆处理能力，包括自动衬底对准、晶圆到晶圆温度均匀性，以及控制工艺温度的优化冷却速度。此外，TOKYO ELECTRON CS-600具有可编程电源，最大灵活性和安全紧急停止功能。CS-600还提供了多种不同的光刻选项，以适应不同的光刻需要。其中包括单模光刻胶（SMPR）、多模光刻胶（MMPR）和主动光刻胶（PPR）。SMPR提供高水平的灵敏度和细节,以及出色的对比度。MMPR是复杂的光刻任务的理想选择，能够产生大的图样，并将光刻胶烘烤到基材中。PPR是为3D结构设计的高性能光刻胶，能够实现先进的光刻效果。TEL/TOKYO ELECTRON CS-600配置紧凑,确保安装和操作方便。此外,它还提供各种标准和自定义组件,以根据特定客户需求进行定制。此外,该工具的模块化设计可轻松更换单个光刻胶元件。TEL CS-600 Photoresist Asset是先进光刻工艺的一种强大而可靠的工具,可提供高水平的可重复性和均匀性。该模型为各种光刻工艺提供了高度可靠的结果,非常适合用于半导体制造。