二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380684 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600（TEL CS-600）是TEL（TOKYO ELECTRON）为在晶圆表面上产生精确、高质量的抗蚀剂而设计的光刻设备。TOKYO ELECTRON CS-600是一个全自动系统,包括曝光、冷却和抵抗剥离功能.曝光过程由一个先进的视觉单元管理，其可变光源跨越紫外线（UV）到可见到红外（IR）光的全光谱。该机还包括一个变速冷却水槽，可以更好地管理热量，并能够形成小而复杂的导电线路。抗蚀剂剥离过程是在旋转清洁剂模块上进行的，该模块提供了高精度生产各种晶圆尺寸和形状的抗蚀剂。使用先进的成像工具,并配备自动对准和舞台自动对准等功能,CS-600能够以微米精度将晶片对准定位级。成像工具还配备了自动对焦功能，可随时确保图像稳定，使资产无需人工干预即可生产高精度抗蚀剂。此外，TEL/TOKYO ELECTRON CS-600能够生产厚度低至1000埃（1nm）的抗蚀剂。TEL CS-600是一种环保模型,符合EPA法规,以确保暴露期间的安全。设备还配备了多种安全功能，如自动关闭系统，以减少发生事故的可能性。TOKYO ELECTRON CS-600是一种先进的光刻胶系统，具有广泛的特性，使其能够产生精确和高质量的抗蚀剂。该装置方便用户，符合安全标准，能够生产厚度和复杂性广泛的抗蚀剂。这使得CS-600可以用于各种工业应用，如半导体生产和医疗设备制造。