二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380686 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600是一种光刻设备，允许用户用光刻直接对金属层进行图样。广泛应用于先进的半导体制造工艺，如微小作物传感器和结构的组装、微型机电系统（MEMS）、互连、光电器件等。该系统提供精确的曝光控制、特征尺寸控制和坚固的金属阵列,所有这些都是在一个过程中完成的。TEL CS-600使用一种称为电子化学辅助耐热剂（ECAT）的专有光抗蚀剂。这种抗蚀剂被设计为与各种金属和基板表面饰面兼容。它对可见光和电子束都具有高度的光敏性，允许用户控制图样和特征的分辨率。此外，TOKYO ELECTRON CS-600配备了一个机械级，相对于曝光光源精确定向抗蚀性涂层基板。CS-600具有多种光刻工具，包括高分辨率图像投影仪、卤素/汞弧洪水曝光源和激光曝光源。这些工具旨在实现极低的线条/空间模式，分辨率高达0.8微米（μ米）。该单元还具有一个高分辨率的扫描单元，能够在多个角度同时曝光。为确保最高精度，TEL/TOKYO ELECTRON CS-600配备了高性能反馈机。此工具可连续监控抗蚀剂涂层基板相对于曝光源的距离,并进行调整以确保阵列对齐在公差范围内。扫描细胞也定时以减少长时间暴露对抗蚀剂的损害。TEL CS-600还配备了精密的清洁、涂层和干燥资产。此测序模型可防止过程磨合过程中的污染,并确保抗蚀剂均匀性和光学清晰的最终结果。TOKYO ELECTRON CS-600还包括一个开发后的线路清洁站，协助用户在底物暴露和开发后从底物中去除光致抗蚀剂。总体而言，CS-600是一个强大和可靠的光刻设备，用于金属层的直接图案。其多功能性和坚固的特点使其适合广泛的光刻应用。