二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380687 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600光刻设备是光刻工艺中使用的高精度、高效系统，常用于集成电路的生产。该单元为晶圆加工和半导体制造操作提供了卓越的性能，实现了卓越的分辨率、速度和精度。该机由3个主要部件组成。TEL CS-600投影仪利用步进电机工具、线性反馈设备、封闭环境和图像旋转资产进行精确的投影图像放置。这样可以确保在抗蚀剂处理步骤中最佳的对准和放置光照。模型的刀刃对齐器用于测量刀刃的锐度、波长、宽度、高度、阻光特性等特征。这样就可以精确地对准刀片边缘,从而确保在晶片上准确、均匀地完成光照。最后，TOKYO ELECTRON CS-600采用自旋处理器，使晶片自旋，增强光刻胶均匀分布，提高光刻保真度。使用CS-600设备很简单。首先，运算符将晶片加载到系统中并输入所需的图像处理算法。然后，该单元执行光刻过程，精确推动光照在晶圆的所需区域。结果是具有一致特征分辨率、可重复性和深度的高精度光刻图像。最后，机器精确旋转晶片，确保光刻胶分布均匀，以获得最佳的图像保真度。TEL/TOKYO ELECTRON CS-600工具是一种可靠高效的光阻资产，旨在提高集成电路制造工艺的精度和耐用性。优越的性能和可靠性使其成为晶圆加工和半导体制造操作的理想选择。