二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380688 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600是一种光致抗蚀剂设备，设计用于覆盖和开发半导体批量生产的先进基板。该系统利用最新技术,产生符合行业标准的高质量、高效结果。TEL CS-600专为优化基板利用率而设计,可容纳高达8 x 25英寸的基板和快速晶圆处理单元。它具有通过使用机器人实现的自动卡带到卡带功能，以及一台内置跟踪机器，用于监控晶圆吞吐量、跟踪晶圆传输以及晶圆涂层和开发阶段。该工具能够快速涂覆光刻胶并简化配方工作流程，使其适用于各种洗涤剂解决方桉。此外，该资产与许多自旋和喷雾处理过的化学品兼容。高精度TOKYO ELECTRON CS-600采用自我诊断模型，对设备性能进行连续监测，必要时可立即采取纠正措施。该系统还提供全面的单位计量，报告温带、空气速度、湿度、力、浓度、位移和加速度等多个参数。该机器包含用于过程控制的高级活动工具。它可以检测和调节气体压力、温度、浓度和溶剂流量，以保持最高精度水平。该工具的高级评估工具有助于确保产品质量,将自动检查与操作员的目视检查结合起来。CS-600可以完全集成到运营商的生产线中,同时控制许多模块,如晶圆转移、化学溷合物和基材转移。TEL/TOKYO ELECTRON CS-600光致抗蚀剂资产的设计符合高性能和生产率要求。通过提供同类产品中最快的速度和最高吞吐量,TEL CS-600可以最大限度地提高生产效率。该模型是半导体供应商的理想选择，旨在实现更高效可靠的工艺操作。