二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9399456 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600是一种为高性能介电图样设计的光阻（PR）设备。它利用多合一平台，为用户提供成本效益最高、效率最高的光刻胶开发和干蚀刻工艺。TEL CS-600光刻胶系统可应用于需要对材料进行精确制图的广泛应用，例如在制造集成电路、LED照明和显示产品方面。TOKYO ELECTRON CS-600具有高速精确的单轮设计，允许无粒子处理和处理敏感部件。它具有双扫描仪单元，每个单元可处理多达100个晶圆，输出的KRYDFE波长分别为90kHz和200kHz。CS-600还提供了可选的四轮选项,以提高速度、精度和处理能力。四轮选件还提供了增强的晶片预处理，允许更好的预曝光和涂层的晶片。TEL/TOKYO ELECTRON CS-600光致抗蚀剂单元可与各种涂层和PR的厚度配合使用，并对开发图样的壁厚提供极好的控制。TEL CS-600还具有半自动PR擦洗工艺,允许在模式开发过程中获得统一且可重复的结果。在数据输入方面，TOKYO ELECTRON CS-600与公司的SPS-nanoManager数据库软件集成，用于控制晶圆基板的性质和参数。该机器还提供实时底物数据加载过程，并且可以使用任何数据库接口。在安全方面，该工具符合ISO 14644-13无颗粒和无溶剂环境要求。总体而言,CS-600光刻胶资产的设计具有成本效益,在处理材料时为用户提供精确、快速和可靠的性能,并降低过程中敏感部件损坏的风险。通过提供良好的晶圆预处理、优异的PR擦洗工艺控制和实时基板数据加载,用户将受益于模型的最大处理能力和最佳结果。