二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9399466 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 Photoresist Equipment是一种高端光刻处理系统,旨在为您的5微米设备制造优化生产力和准确性。TEL CS-600 Photoresist Unit采用最新的先进成像技术,能够精确处理分辨率小于5 μ m的最小特征。该机还具有多次曝光的高重复率，使得大容量生产电路模式和特点。TOKYO ELECTRON CS-600 Photoresist Tool具有高速成像仪/扫描仪和自动对焦器,可实现高通量,在曝光之间快速转换。集成的光学对准器和对准监视器提供精细的准确性和精确度,而资产的减少扫描功能允许生产最细的线宽降低到5微米。该模型还带有用于快速晶圆交换的可编程卡盘。CS-600光敏设备可加工多种光敏和吸收剂.根据用于各种线圈直径和器件尺寸的工艺配方,可以使用适当的材料来满足各种器件生产要求。该系统提供兼容的程序,可根据您的特定需求创建通用的光刻生产单元。该单元的集成真空/压力/冷却剂模块提供了真正的过程灵活性和稳定性，而完整的盒式装卸机则以较低的拥有成本提供了更高的生产率。该机器是完全自动化的，并支持高性能的测量和计量包，提供无与伦比的过程控制。此外,该机器可以轻松地与其他TEL设备集成,并提供可扩展的解决方桉,以满足设备生产需求的特定需求。TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 Photoresist Tool有助于确保在您的5微米设备制造中实现统一的高生产率和准确性。凭借先进的成像技术和集成的真空/压力/冷却剂模块，该资产装备精良，可提供高效、经济高效的光刻生产单元。