二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9399468 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600是一种光致抗蚀剂设备，为精密的图样化提供全面先进的解决方桉。该系统旨在提供性能、安全性和可靠性最高的全自动流程。该单元结合了先进的光刻工具和工艺，能够以最高的产量实现精确的图样。TEL CS-600包括照片对齐机、扫描仪、针架曝光工具、两个腔室和两个烘焙站。光对准资产提供了光掩模和基板的精确对准。这样可以实现最高效的模式,从而确保最高的产量。扫描仪使用高功率光学器件捕获和聚焦，然后投影并重复图样到晶片上。针架曝光模型由两个曝光头、一个分配头和一组小针头组成，用于绘制光刻胶上的图样。两个腔室串联工作，涂抹光刻胶，然后显影除去抗蚀剂材料。第一室容纳色散罐，其中的光致抗蚀剂被溷合和分配到基板上。腔室还包括一个快门，允许抗蚀剂暴露在花纹中并发展。暴露后，晶片被转移到装有空气动力学干燥机、废水污染设备和化学去除室的第二室。烘焙站也高度自动化，集成到TOKYO ELECTRON CS-600系统中。在烘烤过程中，保持温度控制环境，以确保光刻胶的均匀固化和稳定。烘焙站也可用于蚀刻、蚀刻、切割等其他工序。CS-600设计用于快速原型设计和先进的微型制造过程。当与其他机器配合使用时,它对3D打印过程特别有效。先进的光刻工艺与TEL/TOKYO ELECTRON CS-600提供的自动化工艺相结合，为生产技术复杂的产品提供了更加高效、可靠和高性能的方法。