二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9399469 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600是对微电子光刻工艺提供强大、精确控制的光刻设备。该系统的特点允许对具有亚微米特征分辨率功能的光刻层进行快速处理。该装置采用气动真空卡盘，提高了耐蚀涂层的均匀性。平台本身是围绕闭环控制设计的，以确保抗蚀层厚度一致。机器还将在抗蚀剂沉积过程中监测暴露区域的水平，从而产生更好的质量过程。曝光的长度也由刀具根据目标电路的缺陷模式自动调整。该资产使用具有高分辨率显示和自动胶片重迭功能的光学投影模型。此外,TEL CS-600平台易于升级,允许用户定制设备的功能以满足其光刻需求。该系统还包括一个显影机构，以精确控制正在使用的抗蚀剂的配方和开口深度。这是使用几种专有算法完成的,这些算法也用于保持一致性性能。为了进一步提高统一性，在该平台内整合了一个清洁和跟踪单元，以监测和规范光刻的性能。板载诊断有助于识别和纠正过程中的任何问题,以确保结果符合用户设定的确切规范。最后,TOKYO ELECTRON CS-600的设计具有许多安全功能,允许用户对机器进行预编程,以最大程度地防止意外激活或不当暴露。此外，平台是自我监控的，确保工具的所有组件正常运行。CS-600光刻资产提供了对微电子光刻工艺的强大而精确的控制,从而能够快速处理具有亚微米特征分辨率能力的光刻层。这种可靠、灵活的型号完全可以升级,并带有诊断、跟踪和安全功能,以确保获得最高质量的光刻效果。