二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9267387 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS450是一种能够进行各种精确制图操作的照相抵抗设备。该系统旨在以精确和高效的方式执行光刻、自旋涂层和晶圆工艺开发等过程。由于其高度先进的伺服控制功能,它提供了多种功能,包括实现更精细阵列的能力。该单元设计紧凑、高效，易于集成到光刻环境中。其直观的用户界面使操作和维护变得方便。它配备了先进的光学机器，可以延长工作气体寿命。采用高进给速度的优化数值控制，减少了达到所需模式所需的时间。该工具提供了出色的抵抗能力，即使在具有挑战性的基材。有三种加工方式；手动光刻，溶解类型和电镀。所有这些过程都是以高精度和速度相结合的方式执行的，以达到期望的结果。资产的监测和控制能力允许对温度、湿度和腔室压力进行精确的监测和控制。这为涂层工艺和抗蚀剂工艺提供了理想的工作环境。该型号配备了多种特性，使其成为先进工艺开发的理想选择。它具有多种功能,包括先进的旋转涂层设备以及优化的压力和温度控制。它还提供了越来越多的配方步骤，允许用户执行各种不同的涂层和图桉操作。TEL CS450是一个先进的光刻系统，旨在实现精确的图样，速度和方便。其多功能的功能集使得它成为工业和研究环境中先进工艺开发的理想选择。该单元可用于各种基板上的光刻、沉积和蚀刻等应用。其直观的用户界面、先进的光学机器以及改进的控制功能使其非常适合需要高精度和重复过程周期的应用。