二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269591 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS450 Photoresist Equipment是一款功能强大、用户友好的高级光刻工艺抗蚀剂处理系统。TEL CS450专为一致性和准确性而设计,能够处理下一代半导体技术的复杂阵列要求。该单元支持深紫外线（DUV）和极紫外线（EUV）光刻等应用，单、双曝光步骤。TOKYO ELECTRON CS 450设计用于化学放大的负音光刻剂。这台机器先进的旋转技术优化了过程的可变性,并实现了出色的均匀性和生产率,即使采用了较小的图桉设计。TEL/TOKYO ELECTRON CS 450具有集成的机器视觉,能够自动检查和识别缺陷。TEL CS 450配备了可编程过程参数设置。这样可以获得准确、可重复的结果。该工具可以手动操作,也可以在自动模式下操作。自动模式可用于快速、可复制的抗蚀剂处理，即使在复杂的抗蚀剂结构上也是如此。资产还提供出色的温度控制。工艺温度可以在5到80°C之间精确控制，而底物的温度可以保持在5到60°C之间。还提供了可选的快速热分区,它可以显着减少处理小几何晶片所需的时间。该模型包括一个交互式图形用户界面，使操作变得简单直观。此外,还提供了一个配方编辑器,允许用户创建定制的配方并将其存储在TOKYO ELECTRON CS450数据库中。用户提示直观，使操作更简单、更方便用户。该设备还包括内置的高性能抗蚀剂跟踪系统，提供对过程结果的实时监控。这允许运算符更正在抵抗处理过程的不同阶段可能发生的任何变化。总体而言，CS450光刻装置是一种功能强大、用户友好的高级光刻加工机器。其先进的旋转技术、温度控制设置、用户友好的图形用户界面以及实时抵抗跟踪工具提供了卓越的均匀性和过程稳定性。此资产能够满足最具挑战性的流程要求,为用户提供无与伦比的准确性和可重复性。