二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269596 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS450是为工业规模的半导体制造工艺而设计的光阻设备。TEL CS450是一个全自动系统，设计用于精确，可重复和可靠的应用光敏晶片。该装置可以自动精密处理正音或负音光刻胶。该机器使用获得专利的激光传感器集扫描晶片表面，在厚度、线宽和宽度具有预定均匀性的层中应用光致抗蚀剂。该工具集成了一系列先进技术。TOKYO ELECTRON CS 450在三个不同的阶段自动应用光刻胶；抗旋转器、激光写入器和温度控制器。抗蚀剂旋转器执行初始应用阶段，旋转晶片并均匀准确地施加光致抗蚀剂。激光写入器应用要蚀刻到晶片表面的图样，这是使用一系列发射相干光的激光器来画出特定图样来完成的。最后，温度控制器的任务是保持一个稳定的温度在腔室和整个晶片，以确保一个一致的和可重复的应用的光致抗蚀剂。为了保证应用过程中的最高精度、可靠性和均匀性，TEL/TOKYO ELECTRON CS 450配备了几个先进的自动化系统。这包括在执行每个操作之前检查资产的所有组件是否正常运行的"自我评估",以及可以检测和补偿潜在错误来源的自动反馈模型。此外，精密的过滤系统在开始每一个过程之前都会清除空气中的污染物。TOKYO ELECTRON CS450是一种经验证可靠的设备，已被用于制造尖端纳米技术装置。其先进的技术为光致抗蚀剂在半导体器件制造中的应用提供了高效、用户友好的解决方桉。