二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269597 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS450是一种光阻设备，旨在使半导体晶片上的微结构创建过程自动化。该系统由一个特殊的曝光灯、一个旋转晶片级、一个气体净化单元和一个真空机器组成，用于晶片的快速和精确处理。曝光灯，金属卤化物灯，发出波长为351nm的短波紫外线，用于微结构的精确成像。可以将灯的波长和辐照度设置为特定的曝光水平，从而实现精确一致的成像。旋转晶片级是由电机驱动的转盘，以1800rpm旋转晶片，并以用户定义的增量设置曝光时间。该级具有减振机构，可确保平稳运行和精确定位精度。这允许在晶圆上精确放置微结构。气体净化工具用于达到光敏加工所需的高真空水平。一种特殊的高效率涡轮分子泵为工艺室提供了必要的真空和洗涤。这样可以确保在加工过程中不会将污染物引入腔室。真空资产由一个闭环模型和几个传感器组成，这些传感器监测每个工艺室的压力、温度和分压。该设备允许对真空进行精确控制，从而实现光刻胶系统的精确运行。总体而言，TEL CS450是光刻加工的可靠工具。它结合了先进的曝光灯技术、精密的晶片级控制和精确的真空单元调节，使半导体基板上的微结构得以精确制造。