二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269598 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS450是一种先进的光致抗蚀剂设备，用于各种工业中，将感光材料沉积到晶圆和其他基板上，在表面上形成图样或层。该系统是一个完全集成的单元，具有一个自动阶段，用于制图和沉积均匀的感光材料层。该装置采用高精度微调技术对机器中的晶片进行精确对准，并采用嵌入式反馈控制工具，可实现准确、可重复的结果。该资产的集成沉积模块包括双束电子束成像、组合激光射流成像模型和连续高速抵抗涂层设备。双束电子束成像（EBI）高效地产生非常高分辨率的图像，重复精度在一微米或以下。这样可以确保精确的图样和沉积,同时使用最短的处理时间。Laser-Jet Imaging组合系统允许更快的曝光时间,同时生成详细的图样和线条。连续、高速的抗性涂层单元在各种具有高线边缘控制的抗性图样中提供均匀的抗性覆盖。TEL CS450还可以配备多项高级功能，如离线支持机、作业调度工具和高级晶圆处理功能。脱机支持资产允许用户根据其特定需求自定义模型。作业调度设备可针对特定的常规作业量身定制，减少体力劳动时间，提高效率。最后，先进的晶片处理能力使系统能够将晶片从涂层模块精确移动到固化站，从而提高了吞吐量。总体而言，TOKYO ELECTRON CS 450是一款功能强大、用途广泛的光阻装置，适合多个行业和应用。它提供了出色的分辨率和高精度结果,其功能旨在缩短处理时间并提高效率。对于任何需要对感光材料进行精确制图和沉积的项目来说，这台多功能合一机器都是绝佳的选择。