二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269602 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS450是专为高端半导体器件加工而设计的高性能光刻设备。TEL CS450采用了先进的光刻技术，能够使用高度复杂的光刻系统实现精确的模式修改。TOKYO ELECTRON CS 450最显着的特点是它的高分辨率涂层工艺。它配备了先进的涂层，能够精确地涂覆光刻胶薄膜，同时也是高端半导体批量制造的理想选择。通过控制接触压力、旋转和基板速度等沉积参数，确保了高精度的薄膜涂层。工艺室的温度也被精确的调节，以确保光致抗蚀剂被正确的蒸发和固化，以适当的解释光强度的变化。TOKYO ELECTRON CS450还配备了用于照明过程的先进能源。它具有利用紫外激光二极管（Ultaviolet Laser Diode, ULD）技术为光刻胶的曝光过程提供最佳能量剂量的室内激光单元。与传统的曝光源相比,这允许更快的晶圆曝光量和更高的吞吐量。ULD Technology还确保各种模式的快速和可靠的曝光，而不会因为激光的均匀输出而进行任何调整。TEL CS 450还具有超清洁环境。它有一个10000级（Class 1）清洁室，它提供了一个不受任何颗粒污染的环境，因此保持了半导体器件所必需的超清洁条件。为了进一步保持环境的清洁，CS 450还配备了众多的微滤器和后泵系统。总体而言，CS450是一个可靠和高度先进的光刻机设计用于大规模制造高端半导体器件。其高分辨率的涂层工艺、可靠的能源、超洁净的环境，使其成为生产高质量、高精度半导体器件的理想选择。