二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269603 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS450是为各种光刻应用而设计的光刻设备。该系统配备了渐进扫描马达、优化扫描仪和抗阻处理器，使其成为高度通用的设备。它能够在面罩尺寸可达80 × 80毫米的各种基板上同时使用正负抗蚀剂。TEL CS450的逐行扫描电动机旨在最大限度地减少形成具有上覆光刻层的图样所需的时间。这种马达提供了可重复和可靠的过程，最小的操作干预。其± 2 μ m的对准精度和± 0.3 μ m的可重复性大大减少了基板图样和获得质量结果所需的时间。TOKYO ELECTRON CS 450的扫描仪是一种大面积的管道传输装置。该装置允许用户对撞击抗蚀层的光学辐照度实现动态控制。此外,此单元还包括经过ISO认证的抗蚀剂分配和抗蚀剂切片处理器,可提供可靠且一致的抗蚀剂组成,同时确保掩模或基板上的一层干净一致。这台机器还能同时适应高分辨率和低分辨率的特性以及在多波长曝光条件下运行。TOKYO ELECTRON CS450还配备了一种先进的技术，用于在曝光光刻工具时自动定位中间口罩。这一特点使得调整和微调光学选项变得容易，确保准确的分辨率和统一的图案跨基板。CS 450是小型实验室的理想选择,因为它的可编程、用户友好的触摸屏控制面板易于设置和使用。此外,该资产的运营成本较低,能够并行运行多达六个基板,从而提高了吞吐量。因此，对于那些为其光刻项目寻找成本效益高但可靠的光刻模型的人来说，这是一个极好的选择。