二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269604 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS450是一种技术先进的光刻设备，设计用于制造半导体制造的光刻口罩。该系统的主要目的是将电路图的图样以极高的精度传输到光掩模。该单元融合了高分辨率投影光学、精确的舞台和运动控制、高效清洁的工艺室以及精密的闭环控制算法。这些特性使其能够提供精湛的图像对图像配准精度，使其成为纳米级光刻必不可少的工具。TEL CS450机采用1600x1200 DPI 14微米分辨率的光引擎,提供卓越的图像质量和准确性。这款轻型发动机配有300毫米方形基板X-Y分级工具，能够获得+/-15um的三面配准精度。这种精确度使图样能够在晶片上精确成像。此外，该资产还采用了最先进的真空模型，与气体清洁控制单元和二氧化碳干泵设备集成在一起。这种真空系统确保腔室在加工过程中仅含有清洁和惰性气体，从而确保了高产性能。此外，TOKYO ELECTRON CS 450单元还融合了一系列精密的控制系统和算法，旨在保证高精度运行。这些控制系统之一就是其先进的运动控制，它允许舞台以亚微米精度精确定位晶片。它还具有先进的光束控制和曝光校准算法，有助于确保光刻面罩的正确曝光和聚焦。最后，该机具有全面的用户界面，为操作维护提供了便捷的环境。总而言之，CS 450是一款高度先进的光刻工具，能够以极高的精确度和可靠性制造出精确的石板。其高分辨率的光发动机、先进的运动控制资产、精密的控制算法和全面的用户界面，使其成为纳米级光刻的宝贵工具，其特点使其成为任何半导体制造应用的理想选择。