二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269605 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS450是来自TEL（TOKYO ELECTRON）的模块化、多合一的光刻胶设备。该系统专为各种光刻应用而设计，提供高精度和重复性。TEL CS450能够处理从4英寸晶圆到450mm晶圆的大型基材。它提供了快速的周转时间和最低的化学用量,使其成为许多生产环境中经济高效的解决方桉。TOKYO ELECTRON CS 450利用先进的光学技术，以最小的维护达到可重复的精度。它包括一个远心投影透镜，投射光具有很大的均匀性和四线性镜（QLM），提供稳定的照明跨越大基板。该单元可以配置两种不同的对准系统，TEL/TOKYO ELECTRON RC-STEP或RC6000，这取决于应用程序的具体要求。CS450还包括减少颗粒的几项关键技术，特别是获得专利的膜垫片和牢固地在晶片上含有颗粒的粘性垫子。这样可以确保高吞吐量,甚至在具有挑战性的基材上也能产生产量。内部空气过滤可防止光学元件上的颗粒堆积，并确保机器内只有清洁空气流动。TEL/TOKYO ELECTRON CS 450除了精确度高外，还具有很高的弹性，可以处理广泛的材料，包括常见的光刻胶、透明膜和其他光学材料。它还具有一个用户友好的界面，允许用户快速设置新的进程并分解现有的进程。这使得适应不断变化的需求和不同的生产方法变得更加容易。总体而言，TOKYO ELECTRON CS450是快速、准确、高效光刻的理想解决方桉。凭借其众多功能和创新,它提供了最高级别的性能和灵活性。TEL CS 450具有高度的可配置性和经济效益,是任何光刻应用的理想选择。