二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269606 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS450是一种光致抗蚀剂设备，设计用于对硅片等薄膜等基板进行高精度蚀刻和图样处理。它是一个基于最新的最先进的技术和设计原理的先进系统。TEL CS450具有类似钻石的碳源单元（DLCS），这是光致抗蚀剂工艺中使用的最先进的光敏化学品源。DLCS是一种激光诱导的高强度电子束蒸发源，能够产生精确控制剂量的微米级化学物质。DLCS还具有先进的光学功能，如光束准直、能量稳定和光吸收。该设备还配备了基板处理机（STS），这是一种先进的工具，用于在基板暴露于DLCS之后对其进行清洁、修复和干燥。TOKYO ELECTRON CS 450旨在与各种类型的底物一起工作，包括硅、石英和蓝宝石。该资产能够精确控制蚀刻深度和线条、点及其他形状的图桉,蚀刻深度可达50微米,线宽可达300 nm。各种功能，如边缘舍入、激光划线、线条成形、电荷累积，都可以在模型中实现自动化，提供比手工所能达到的更高精度。该设备还旨在提供生物安全和运行效率。它带有集成控制器,允许用户远程控制流程周期和参数。这意味着用户可以减少污染和损坏基板的风险，并确保精密和质量地进行蚀刻和制图过程。控制器还具有安全功能，如在操作过程中防止系统过热的热保护，以及在加工过程中防止基板表面突然变化的振动监控。CS 450提供全面的蚀刻和图桉功能，包括蚀刻深度和线宽调整、高精度线形、边圆、激光划线、电荷累积。此外，该装置还能够生产各种光阻结构，包括微机电系统、有机发光二极管、印刷电路板和射频装置。它非常适合广泛的应用,包括半导体、显示器和传感器的制造。