二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269607 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS450是一种光致抗蚀剂设备，使用户能够精确地将光致抗蚀剂涂抹到基板上。这种光致抗蚀剂系统基于一种"狭缝扫描"技术，即在光致抗蚀剂涂层表面上以"耙子"的方式移动固化紫外线光束。这使用户能够控制光刻胶层的深度和厚度，同时消除其他变量如基板位移。TEL CS450光敏装置由四个主要部件组成：隔振器、狭缝扫描紫外线光源、x-y扫描运动级和光敏控制器。隔振器利用自适应阻尼机最大限度地提高刀具的精度，减少在基板上移动时施加的力，确保基板不会损坏。缝隙扫描的紫外线是一种真空紫外线（VUV）激光器，产生一种特定波长（195-205nm）的光来激活光敏材料。然后通过x-y扫描运动阶段将这个波长均匀地分布在整个表面上，以达到所需的光致抗蚀剂深度和层均匀性。光刻胶控制器允许调整资产的参数，如扫描速度、通过深度和通过率。该控制器还允许用户在固化过程中监视光刻胶材料,以确保获得所需的结果。该模型还具有自动校准功能，使校准过程自动化，并允许用户更快、更高效地工作。TOKYO ELECTRON CS 450也以光阻均匀性高、涂层厚度精确、返工率低而着称。总体而言，CS 450是一种可靠、高效的光刻胶设备，使用户能够快速准确地将光刻胶涂抹到各种基板上。该系统的缝隙扫描技术、先进的元件和可调参数使其成为许多需要精确水平的光刻涂层的应用的理想单元。这台机器能够以比以前更高的一致性和效率产生符合用户确切要求的结果。