二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269608 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS450是由TEL（TOKYO ELECTRON）专门为半导体器件制造而设计的光阻设备。该系统主要用于在半导体基板表面沉积感光化学品，最常见的是光致抗蚀剂，以便在设备制造过程中形成图桉化的层。该设备是一种全自动、灵活的工具,使用户能够快速响应客户的需求并处理半导体设备生产周期中发生的技术变化。TEL CS450机利用了几个关键部件，包括光敏处理室（PPC）、液体输送工具和软件控制器。PPC包含沉积单元，这是一个直接沉积和后续资产，有两个水箱连接，用于溶液转移。PPC的设计允许精确调节温度、照明和溶液组成，以确保均匀和高分辨率的图桉。液体输送模型用于将光致抗蚀剂从储罐输送到沉积室。软件控制器是一个图形用户界面，允许对设备进行远程监控。它还包括沉积参数的实时显示，允许用户在光刻涂层过程中根据需要调整设置。除了涂覆光刻胶外，TOKYO ELECTRON CS 450系统还能完成光刻胶条、预烤、开发等其他处理任务。它有一个精确的剂量单元，可以很容易地容纳各种液体化学品，同时尽量减少浪费。机器还利用先进的清洁技术，帮助保持低污染水平的沉积室。CS 450工具可以集成到更大的流程中,从而提高吞吐量和生产率。资产按照安全规定设计，并有不锈钢制成的IPX-7外壳。这确保了对环境因素的高度保护。TEL CS 450模型非常适合需要快速处理时间和精确控制的操作,以便获得最佳的微制造效果。其高精度沉积和精密的软件控制使其成为目前最先进的光刻胶系统之一。