二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269614 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS450是一种光刻设备,其设计目的是提供卓越的抗蚀性图样质量,并具有出色的电机性能,可用于光刻、各向异性和各向同性蚀刻等程序。TEL CS450利用半自动平台和直列式全尺寸烘焙室,每次加载最多可生产15个晶片。它还具有全方位的数字图像处理功能，使其能够用于光刻程序。此外，TOKYO ELECTRON CS 450还配备了四步进驱动电机，以确保对抗蚀剂注入以及底物位置和对准的精确控制。TEL/TOKYO ELECTRON CS 450也有先进的製程系统，可以让使用者轻鬆进行各种光刻步骤。它还配备了四轴行进和运输控制单元，能够执行高精度的X、Y、Z和旋转运动。TEL CS 450具有高精度自旋涂层机，能够在给定基板上感应出均匀的表面涂层，先进的多层沉积三脉冲溅射工艺，以及激光表面烧蚀工艺，用于基板清洗。此外，该工具还具有先进的抗反射涂层特性，可用于达到最佳图样质量。CS450还配备了集成的环境控制系统和无聚氯乙烯传送带，有助于防止静电引起的问题。此外,它还具有紧凑的设计和较小的占地面积,允许用户在利用资产的同时节省空间。CS 450具有这样的功能,为用户提供了可靠、安全的光刻胶型号。