二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269618 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS450光刻设备是一种用于半导体晶圆制造的最先进的光刻工具。该系统由光刻涂层模块、曝光模块、显影模块、剥离模块四个主要组件组成，分别进行光刻涂层、光刻图样传递、图样显影和光刻剥离。该装置的自动化控制使光刻胶能够获得最佳涂层,确保均匀且可重复覆盖。使用专用软件,可以处理和精确管理各种层。特定于应用程序的曝光模式的范围从简单的几何形状、线条或圆形到复杂的微观结构。通过精确控制暴露参数，TEL CS450能够进行先进的模式设计。光阻涂层模块由一系列坦克、一个自旋头和一个自旋控制器组成。自旋头和控制器协同工作，精确控制自旋速度和加速度。适当编程后,控制器会自动将光刻胶分配到晶片表面上,在光刻过程开始之前均匀地涂覆表面。该机构还确保厚度均匀，并限制潜在的污染。Expose Module实现了高精度的真空接触对准。跟踪机器类似于自动对焦摄像机，确保最小分辨率误差和高精度。控制器允许精确控制剂量、聚焦、对准、次曝光和烘烤。开发模块由两个储罐、一个晶圆支架和一个加热器组成。集成的外围加热器使光刻胶变暖,并使耐火烤箱失活,确保达到理想的开发效果。剥离模组使用射频等离子体和湿蚀刻的组合来轮廓和去除光致抗蚀剂。结合起来，这四个过程使图样能够高度准确和可重复地转移到晶圆表面。通过控制和管理曝光参数，TOKYO ELECTRON CS 450将自己定位为一种用于制造半导体晶圆的高端、高分辨率光刻工具。