二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269620 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS450是TEL Limited生产的高精度光刻设备。它专为半导体、平板显示器和其他前沿电子产品制造中的应用而设计。TEL CS450系统由显微镜和光刻工具两部分组成.该显微镜设计用于成像和用于掩模图样在晶片上的临界覆盖对准。它具有自动镜头单元（ALS）,可实现高吞吐量和高精度。镜头机的数值光圈为1.5，放大倍率高达1,400X，与光刻工具完全集成。光刻工具具有高分辨率成像工具，使用专有的激光束写入工艺将光刻胶应用于晶片。它还具有高精度的掩码居中资产,可使掩码与晶圆的目标区域精确对齐。该模型采用综合标准的光掩模测量和对准设备进行精确的掩模对准，并具有动态加载和对准能力，以实现快速处理。TOKYO ELECTRON CS 450系统为创建高精度图样提供了可靠且可重复的结果。它专为可靠的操作而设计,并具有可根据需要轻松更换或升级的模块化组件。它具有先进的单元监控能力，包括自动机器故障检测和报警管理。CS 450工具具有灵活性和可扩展性,可满足不同的客户需求。它能够处理各种类型的基材，如300 mm晶圆，设计具有广泛的生产自动化和控制功能。总体而言，CS450是一种可靠、精确的光刻处理资产，非常适合用于制造先进的集成电路和其他先进的电子产品。它提供高分辨率、灵活性和可扩展性,以满足不同生产环境的要求。