二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269621 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS450光刻设备是一种先进的高速无掩码成像系统，用于半导体和电路板应用的光刻工艺。该装置利用高速成像激光器在光刻涂层晶片或板上光学曝光图样。它具有高吞吐量和高精度的复杂模式形成能力，满足了电子和微加工行业的迫切需要。该机融合了全方位的机动定位级和控制系统，以确保精确的控制和可重复的定位。晶片或板牢固地固定在真空卡盘中，可通过使用控制器进行接合。在整个成像过程中监测底物的均匀性和真空水平，以确保高精度和可重复性。成像激光器消除了对口罩和口罩的需求,从而使工具更快速、更经济高效。激光的使用使得该资产既适用于直接成像，也适用于间接成像技术。UV（191-397nm）和IR（820-1700 nm）激光源的宽波长范围可用于不同的应用。该模型还具有晶圆或板清洁能力，具有先进的湿处理技术。它包括一个全自动的化学管理设备以及可编程的控制，以分解和转移化学溶液和监测废气流动。可以根据每个流程的特定要求设计和自动化TEL CS450。用户可以在任何时间长度内配置自动化程序，照片曝光和开发可以在一次运行中完成，无需人工干预。内置的精确控制和监控功能确保了成像结果的准确性和可重复性。总体而言，TOKYO ELECTRON CS 450光阻系统是一个可靠高效的成像平台，可用于广泛的应用。它是创建复杂图样的理想单元，可用于半导体或电路板应用的光刻工艺。